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蔡司掃描電鏡(SEM)+能譜儀(EDS)樣品制備的要求
▶蔡司掃描電鏡(SEM)+能譜儀(EDS)樣品要求：
SEM試片制備一般原則為:
A. 顯露出所欲分析的位置，當(dāng)樣品尺寸過大需切割取樣。
B. 表面導(dǎo)電性良好，無磁性或弱磁性，不易潮解且無揮發(fā)性的固態(tài)樣品。
C. 不得有松動的粉末或碎屑(以避免抽真空時粉末飛揚(yáng)，污染鏡柱體)。
D. 需耐熱，不得有熔融蒸發(fā)的現(xiàn)象。
E. 不能含液狀或膠狀物質(zhì)，以免揮發(fā)。
F. 樣品若金屬或?qū)щ娦粤己茫瑒t表面不需任何處理，可直接觀察;而非導(dǎo)體表面則需鍍金或鍍碳。金屬膜較碳膜容易鍍，適用于SEM影像觀察，通常為Au或Au-Pd合金或Pt。而碳膜較適于X光微區(qū)分析，主要是因為碳的原子序低，可以減少X光吸收。
定量分析的樣品要求：
-在真空和電子束轟擊下穩(wěn)定;
-樣品分析面需平整，一般要求垂直于入射電子束;
-有良好的導(dǎo)電和導(dǎo)熱性能;
-均質(zhì)、無污染;
-樣品尺寸要盡量小;
無法滿足上述要求的樣品，定量結(jié)果準(zhǔn)確度降低。
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